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摘要:工业制硅原理涉及从原料到硅单晶的转化过程。采用碳还原法或物理气相沉积等方法将原料如石英砂等转化为硅的化合物。通过化学气相沉积或物理提纯技术,将硅的化合物进一步提纯为多晶硅。通过晶体生长技术,将多晶硅转化为硅单晶...